俄罗斯130nm光刻机完成验收：制造成本达650万美元 硬件 2026-10-09 8 快科技10月9日消息，据CNews报道，俄罗斯已完成用于生产130纳米制程光刻机的第三阶段设计验收工作，该阶段验收证书已于2026年8月7日签署。该130nm分辨率光刻机由“泽列诺格勒纳米技术中心”（Zelenograd Nano Technology Center，ZNTC）与白俄罗斯“普拉纳尔”（Plan... 阅读全文
